6月26日,湖北省宜都市舉行全市2022年6月重大項目開工暨湖北中用電子新材料有限公司年產10000噸電子氣體項目開工儀式。
項目分兩期建設,其中一期項目投資5.6億元,年生產3500噸電子氣體,預計2023年8月建成投產;項目二期計劃投資16億元,占地面積100畝,預計2025年建設年產6500噸新型含氟電子氣體生產裝置,兩期合計產能10000噸/年。
建成后,一期項目將實現年產2000噸六氟化鎢、600噸電子級六氟化硫、200噸電子級氟化氫、100噸電子級三氟化硼、200噸電子級八氟環丁烷、200噸電子級六氟乙烷、200噸電子級混和氣的產能。
湖北中用電子新材料有限公司生產的相關含氟電子氣體及混配氣是電子信息材料領域專用材料,主要用于半導體行業的清洗、蝕刻、摻雜、成膜等工藝。