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      中船派瑞特氣投建7500噸高純三氟化氮NF3等電子氣體項目

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      5月27日,呼和浩特市生態環境局受理了中船派瑞特種氣體(呼和浩特)有限公司高純電子氣體項目(一期)環境影響評價文件并予以公示。該項目具體情況如下:

      項目名稱:中船派瑞特種氣體(呼和浩特)有限公司高純電子氣體項目(一期)

      建設性質:新建;

      建設單位:中船派瑞特種氣體(呼和浩特)有限公司;

      建設地點:內蒙古呼和浩特市托克托工業園區;

      項目投資:136300萬元,其中環保投資6339.7萬元;

      建設內容及規模:建設年產高純三氟化氮7500噸的生產裝置,年產超純氨10000噸和液氮75000噸的生產裝置。同時配套建設循環水站、純水軟水制備站、空壓站、冷凍站、污水處理站等公輔工程。

      產品方案:


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      中船派瑞特種氣體(呼和浩特)有限公司中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司的全資子公司,主要產品為三氟化氮NF3、氨氣NH3、液氮、三氟甲磺酸等。

      三氟化氮(NF3)屬于大規模集成電路的關鍵性輔助氣體之一,可以用作氟化氫激光器的氧化劑,半導體、液晶和薄膜太陽能電池生產過程中的蝕刻劑。隨著因特網、手機的迅速普及,使得芯片的使用率提高,無疑對生產芯片用的刻蝕劑、清洗劑提出了巨大需求,使得三氟化氮的使用量比重越來越大。

      關鍵詞: 派瑞特氣  三氟化氮  NF3   編輯:JZY
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