5月27日，呼和浩特市生態(tài)環(huán)境局受理了中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司高純電子氣體項(xiàng)目（一期）環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件并予以公示。該項(xiàng)目具體情況如下：

項(xiàng)目名稱：中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司高純電子氣體項(xiàng)目（一期）；

建設(shè)性質(zhì)：新建；

建設(shè)單位：中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司；

建設(shè)地點(diǎn)：內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托工業(yè)園區(qū)；

項(xiàng)目投資：136300萬(wàn)元，其中環(huán)保投資6339.7萬(wàn)元；

建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模：建設(shè)年產(chǎn)高純?nèi)?500噸的生產(chǎn)裝置，年產(chǎn)超純氨10000噸和液氮75000噸的生產(chǎn)裝置。同時(shí)配套建設(shè)循環(huán)水站、純水軟水制備站、空壓站、冷凍站、污水處理站等公輔工程。

產(chǎn)品方案：

中船派瑞特種氣體（呼和浩特）有限公司是中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司的全資子公司，主要產(chǎn)品為三氟化氮NF3、氨氣NH3、液氮、三氟甲磺酸等。

三氟化氮（NF3）屬于大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵性輔助氣體之一，可以用作氟化氫激光器的氧化劑，半導(dǎo)體、液晶和薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程中的蝕刻劑。隨著因特網(wǎng)、手機(jī)的迅速普及，使得芯片的使用率提高，無(wú)疑對(duì)生產(chǎn)芯片用的刻蝕劑、清洗劑提出了巨大需求，使得三氟化氮的使用量比重越來(lái)越大。