8月1日,淄博市生態環境局受理并公示山東重山光電材料股份有限公司高純二氟化氙項目,具體項目情況如下:
項目名稱:高純二氟化氙項目;
建設單位:山東重山光電材料股份有限公司;
建設性質:新建;
建設地點:山東省淄博市淄川區電子產業園重山光電現有廠區內;
項目投資:總投資1500萬元,其中環保投資60萬元;
建設內容:項目依托現有閑置廠房,分兩期建設,一期生產高純二氟化氙1噸/年;二期建設規模2噸/年。
建設周期:一期計劃開工時間2024年6月,計劃投產時間2025年6月,二期計劃開工時間2026年3月,計劃投產時間2027年3月。
山東重山光電材料股份有限公司成立于2015年,主營業務包括光電信息材料、鋰電池材料、特種功能氟碳材料(氟化石墨、氟化石墨烯系列材料)、石墨及石墨烯衍生材料、含氟系列電子材料、其它半導體制程材料、穩定同位素材料、環保技術及產品研發、生產及銷售。
二氟化氙(XeF2)是非常良好的氟化試劑和電子蝕刻氣體,其氟化性比較溫和,又比較穩定,操作安全,而且反應物的產率高,是一種選擇性很好的氟化試劑,在無機氟化物制備及有機合成中有廣泛的應用;二氟化氙在電子工業中作為蝕刻氣體,可用于各向同性蝕刻Si、Mo和Ge,是蝕刻犧牲層以“釋放”MEMS器件內移 動組件的理想解決方案。是氟化工產業中的關鍵環節,符合重點監控點發展規劃。