在浙江芯科半導(dǎo)體的萬(wàn)級(jí)潔凈車間內(nèi)，精密儀器持續(xù)嗡鳴，光刻機(jī)精準(zhǔn)作業(yè)。每一片第三代SiC功率芯片的誕生，都離不開(kāi)一個(gè)無(wú)形的守護(hù)者——高度穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境與極致潔凈的空氣。

　　溫度波動(dòng)超過(guò)±0.5℃，濕度失控?cái)?shù)個(gè)百分點(diǎn)，都可能導(dǎo)致上百萬(wàn)的晶圓報(bào)廢。這是中國(guó)半導(dǎo)體獨(dú)角獸芯科面臨的日常高壓挑戰(zhàn)，也是其發(fā)展路上必須跨越的能耗大山！

　　半導(dǎo)體制造是名副其實(shí)的“環(huán)境敏感型”產(chǎn)業(yè)。芯科半導(dǎo)體這類IDM企業(yè)，廠房規(guī)模宏大、設(shè)備投資高昂，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的控制近乎苛刻：

　　溫度與濕度精密控制：納米級(jí)制造工藝要求全年恒溫恒濕，波動(dòng)范圍極小。

　　空氣潔凈度保障：極微小的塵埃都可能毀掉整片晶圓，高效過(guò)濾與氣流組織至關(guān)重要。

　　不間斷可靠運(yùn)行：生產(chǎn)線全年無(wú)休，空調(diào)系統(tǒng)必須絕對(duì)穩(wěn)定，停機(jī)即是重大生產(chǎn)事故。

　　巨大能耗壓力：龐大的空間與嚴(yán)苛的溫濕度需求，使暖通空調(diào)成為廠區(qū)“電老虎”，降耗迫在眉睫。

　　面對(duì)芯科半導(dǎo)體獨(dú)特的生產(chǎn)流程與空間布局，歐博空調(diào)沒(méi)有提供“通用答案”。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)深入一線，精準(zhǔn)測(cè)繪分析，最終交出一套高度匹配的定制化空調(diào)矩陣：

圖|機(jī)組現(xiàn)場(chǎng)照片

　　【四管制模塊式風(fēng)冷熱泵機(jī)組】化身廠區(qū)冷熱源“心臟”，四管制設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)制冷制熱獨(dú)立精準(zhǔn)調(diào)控，輕松應(yīng)對(duì)辦公區(qū)、研發(fā)區(qū)等不同區(qū)域的動(dòng)態(tài)負(fù)荷需求，提升整體能效。

　　【模塊式風(fēng)冷冷水（熱泵）機(jī)組】按需靈活組合，為潔凈車間循環(huán)提供穩(wěn)定冷源，其模塊化特性大幅降低單點(diǎn)故障風(fēng)險(xiǎn)，保障生產(chǎn)連續(xù)性。

　　【ZKW系列組合式空調(diào)機(jī)組】作為潔凈室環(huán)境的“精密調(diào)校師”，集成高效過(guò)濾、深度除濕、精準(zhǔn)溫控單元，確保核心生產(chǎn)區(qū)域空氣參數(shù)始終如一，潔凈度穩(wěn)定達(dá)標(biāo)。

　　【FP系列風(fēng)機(jī)盤管】分布式部署于辦公及輔助空間，安靜高效，獨(dú)立溫控，實(shí)現(xiàn)舒適與節(jié)能的完美統(tǒng)一。

　　這套系統(tǒng)不僅是設(shè)備的組合，更是歐博在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域深厚know-how的結(jié)晶。針對(duì)半導(dǎo)體廠房的靜電防控、微振隔離、電磁兼容等隱形需求，方案中植入了特殊設(shè)計(jì)：

　　氣流組織經(jīng)優(yōu)化，消除死角，保障潔凈度均勻穩(wěn)定；

　　關(guān)鍵設(shè)備采用高效變頻與熱回收技術(shù)，能耗顯著低于傳統(tǒng)方案；

　　智能群控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多機(jī)組高效協(xié)同，按需輸出，避免能源空耗。

　　“歐博的方案真正讀懂了我們的痛點(diǎn)，”芯科半導(dǎo)體項(xiàng)目負(fù)責(zé)人反饋，“運(yùn)行一年多來(lái)，空調(diào)系統(tǒng)零意外停機(jī)，潔凈室參數(shù)始終完美達(dá)標(biāo)。更驚喜的是，經(jīng)實(shí)測(cè)對(duì)比，整體空調(diào)能耗較預(yù)期大幅度降低，一年節(jié)省電費(fèi)達(dá)百萬(wàn)量級(jí)。”

　　從一顆芯片的誕生，到一座“綠色工廠”的運(yùn)轉(zhuǎn)，歐博空調(diào)憑借在電子半導(dǎo)體領(lǐng)域數(shù)十年的深耕，打造的覆蓋項(xiàng)目全生命周期的一體化解決方案（從前期規(guī)劃設(shè)計(jì)、設(shè)備定制，到中期集成實(shí)施、調(diào)試驗(yàn)收，再到后期智慧總控與智能運(yùn)維）已助力國(guó)內(nèi)外數(shù)十家知名芯片制造企業(yè)破解環(huán)境控制與能耗困局。

　　在半導(dǎo)體這條“精密至上”的賽道上，穩(wěn)定與節(jié)能是永不退潮的競(jìng)爭(zhēng)力！歐博空調(diào)依托深厚技術(shù)積累，以高效節(jié)能的產(chǎn)品、高度定制化的系統(tǒng)解決方案和快速響應(yīng)的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，正成為越來(lái)越多像芯科半導(dǎo)體這樣的行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)背后，不可或缺的“環(huán)境守護(hù)者”與“能耗破解專家”。