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據彭博社報道，臺積電發言人高孟華表示，地震發生后，一些工作人員已被疏散，之后又恢復了工作。臺積電表示，按照公司內部程序，南部廠區部分無塵室人員已進行疏散以確保安全，目前已經回線，工安系統等都正常，此次地震對其業務沒有產生重大影響。
另外，聯電則表示，新竹廠區少數機臺啟動自我保護機制重新開機，廠區內人員均安，依標準程序作業，其它無重大影響。
面板大廠群創也表示，群創臺南廠區部分機臺進行保護性自動停機，并進行系統檢查中，部分廠區進行人員疏散，目前人員安全。
此外，臺灣竹科、南科及臺灣地區經濟部轄管各工業園區均表示，無災情回報，營運不受影響。
