7月17日，九江市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布公告，表示已對江西華特永修年產(chǎn)1936.2噸電子特氣項(xiàng)目環(huán)境影響評價(jià)文件作出審批決定。據(jù)悉，該項(xiàng)目6月7日受理，具體情況如下：

項(xiàng)目名稱：江西華特永修年產(chǎn)1936.2噸電子特氣項(xiàng)目；

項(xiàng)目性質(zhì)：改擴(kuò)建；

建設(shè)單位：江西華特電子化學(xué)品有限公司；

建設(shè)地點(diǎn)：江西永修云山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園江西華特電子化學(xué)品 有限公司廠區(qū)內(nèi)；

項(xiàng)目投資：17400萬元，其中環(huán)保投資32萬元；

建設(shè)內(nèi)容：建設(shè)300噸/年C4F6裝置1套、15噸/年乙硅烷裝置1套、20 噸/年鍺烷裝置1套、1噸/年丙硅烷裝置1套、0.2噸/年乙鍺烷裝置1套、600噸/年環(huán)氧乙烷裝置1套以及1000噸/年三氟化氮裝置1套。

產(chǎn)品方案：

江西華特電子化學(xué)品有限公司成立于2013年10月，是廣東華特氣體股份有限公司全資子公司，位于江西省省級化工園區(qū)永修云山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)。公司主要生產(chǎn)電子工業(yè)用氣體鍺烷、硒化氫、高純一氧化碳，純化硫化氫、磷烷、四氟化硅、一氟甲烷、六氟乙烷、八氟丙烷、半導(dǎo)體材料、硅基前驅(qū)體等，充裝及配制電子化學(xué)品和工業(yè)氣體，配制標(biāo)準(zhǔn)氣體、混合氣體、混合溶劑，生產(chǎn)鋁合金無縫氣瓶、低溫絕熱氣瓶（杜瓦罐）、低溫液體貯罐、汽化器、天然氣撬等氣體設(shè)備及安裝氣體管道工程。

C4F6（六氟-1,3-丁二烯、全氟丁二烯）是一種新型的含氟綠色電子刻蝕氣，具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工，為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能；同時(shí)六氟-1,3-丁二烯環(huán)境友好，GWP<1，大氣壽命1.1天，是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。