英飛凌推出基于MEMS的集成式先進超聲波傳感器

【2025年2月6日, 德國慕尼黑訊】英飛凌科技股份公司（FSE代碼：IFX / OTCQX代碼：IFNNY）在開發電容式微機械超聲波傳感器（CMUT）技術方面取得重大進展。憑借這項技術，公司推出首款高度集成的單芯片解決方案，該方案基于微機電系統（MEMS）的超聲波傳感器，擁有更小的占板面積以及更強大的性能和功能，可廣泛用于開發新型超聲波應用和改進消費電子、汽車工業與醫療技術領域的現有應用。

采用eWLB封裝的CMUT

英飛凌科技高級總監Emanuele Bodini表示：“英飛凌的超聲波技術可以實現很高的信噪比和集成度，因此我們認為該器件代表著行業的一大突破。我們希望利用這項技術開發出一個服務于不同行業多種應用場景的產品平臺。” 

與依靠材料本身變形的傳統壓電體材料不同，CMUT通過微加工半導體膜片的偏轉來傳輸和檢測超聲波。憑借這一原理再加上小尺寸、低功耗和高性能的特點，該器件能夠增強各種超聲波應用。與單管解決方案相比，英飛凌的MEMS和ASIC 集成技術可將本底噪聲降低到同等尺寸傳統壓電陶瓷材料的二十分之一，并將絕對信號增強一千倍。憑借在半導體設計和制造領域的專業經驗，英飛凌可將先進技術應用于從消費電子到醫療設備等多個行業。

改進固態觸控按鈕

英飛凌的 CMUT 技術可在不使表面變形的情況下，在玻璃甚至金屬等任何固體材料下實現固態觸控按鈕。這為傳統的機械按鈕提供了更加耐用、可靠的替代品，降低磨損風險，延長設備的整體使用壽命。與可能受濕度和溫度等環境因素影響的電容式觸控按鈕相比，基于CMUT的觸控按鈕完全與水兼容，并具有高電磁兼容性（EMC）。由于該技術縮小了按鈕的尺寸，因此可以集成從智能手機到工業控制面板等各種設備，例如能將觸控按鈕安裝在手機金屬框架下或取代汽車門把手，以實現整潔的設計。

液位感應

英飛凌的CMUT可使一些需要液位感應的家用電器設備受益。CMUT具有多項優勢，包括可連續測量填充液位、功耗低，以及可輕松、無損地安裝在水箱底部下方。由于接觸式電極可能會被腐蝕，因此最后一點對于測量洗衣機或洗碗機中的化學物質等非常重要。

先進醫療應用

CMUT 技術還可用于開發使用超聲波技術的創新醫療設備，例如用于生命體征監測、健康追蹤和無創醫療診斷的可穿戴設備。借助CMUT技術，這些設備能進行連續監測和反饋，而非單次測量，因此能夠更早地發現潛在的健康問題，并提高患者的治療效果。由于尺寸小、功耗低，它們非常適用于可穿戴設備和定點照護應用。